Предмет: Микро и нано сензори
Код: 3ФЕИТ01008
Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС
Неделен фонд на часови:3+0+0+3
Наставник: Проф. д-р Миле Станковски
Цели на предметната програма (компетенции): Целта на оваа студиска програма е запознавање на студентите со микро и нано мехатроничките системи. После завршувањето на курсот тие успешно ќе може да ги карактеризираат разликуваат и применуваат микро и нано сензорите во реални апликации. Ќе се здобијат и со основни познавања на техниките и методите за производство на овие сензори.
Содржина на предметната програма: Запознавање со микро и нано мехатроничките системи. Преглед на физичките појави кои се користат за проектирање на микро и нано сензори. Преглед на различни типови на микро и нано сензори. Термички сензори, сензори за радијација, механички сензори, магнетни сензори, био-хемиски сензори. Карактеризација на сензори во лабораториски услови.
Литература:
| Задолжителна литература | ||||
| Бр. | Автор | Наслов | Издавач | Година |
| 1 | Milena Djukanovic, Goran Stojanovski | Lecture Notes on Microelectromechanical Systems | DRIIMS Tempus | 2012 |
| 2 | Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White | MEMS Mechanical Sensors | Artech House, Inc | 2004 |
| 3 | Jan G. Korvink, Oliver Paul | MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications | William Andrew, Inc | 2006 |
