Микро и нано сензори

Објавено: февруари 28, 2019

Предмет: Микро и нано сензори

Код: 3ФЕИТ01008

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови:3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р Миле Станковски

Цели на предметната програма (компетенции): Целта на оваа студиска програма е запознавање на студентите со микро и нано мехатроничките системи. После завршувањето на курсот тие успешно ќе може да ги карактеризираат разликуваат и применуваат микро и нано сензорите во реални апликации. Ќе се здобијат и со основни познавања на техниките и методите за производство на овие сензори.

Содржина на предметната програма: Запознавање со микро и нано мехатроничките системи. Преглед на физичките појави кои се користат за проектирање на микро и  нано сензори. Преглед на различни типови на микро и нано сензори. Термички сензори, сензори за радијација, механички сензори, магнетни сензори, био-хемиски сензори. Карактеризација на сензори во лабораториски услови.

Литература:

Задолжителна литература
Бр. Автор Наслов Издавач Година
1 Milena Djukanovic, Goran Stojanovski Lecture Notes on Microelectromechanical Systems DRIIMS Tempus 2012
2 Stephen Beeby, Graham Ensell, Michael Kraft, Neil White MEMS Mechanical Sensors Artech House, Inc 2004
3 Jan G. Korvink, Oliver Paul MEMS: A Practical Guide to Design, Analysis, and Applications William Andrew, Inc 2006