Микроелектроника и микросистеми

Објавено: јуни 28, 2022
1. Наслов на наставниот предмет Микроелектроника и микросистеми
2. Код 4ФЕИТ05Л024
3. Студиска програма КХИЕ
4. Организатор на студиската програма Факултет за електротехника и информациски технологии
5. Степен Прв циклус студии
6. Академска година / семестар III/6 7. Број на ЕКТС 6
8. Наставник Д-р Катерина Ралева, Д-р Јосиф Ќосев
9. Предуслов за запишување на предметот Положен: Електроника 1
10. Цели на предметната програма (компетенции). по завршувањето на курсот, студентот ќе располага со продлабочени инженерски знаења од микроелектрониката:
– ги разбира технолошките процеси поврзани со микроелектронските елементи и склопови
-ги знае технолошките чекори и постапки за дизајнирање на основните елементи во биполарна и MOS технологија
– ги знае чекорите и постапките на CMOS процесната технологија
-ги разбира ламбда правилата за дизајнирање CMOS интегрирани кола
-знае да нацрта дијаграм на стапчиња за едноставни и комплексни логички порти
-ги разбира технологиите за изработка на MEMS елементи
– владее со основни CAD алати во микроелектрониката и
-може да дизајнира едноставни микроструктури.
11. Содржина на програмата: Вовед – развој на микроелектрониката (ITRS) и идни правци. Фабрикација на интегрирани кола – Основни постапки и процеси во планарната технологија на силициум (монокристал, фотолитографија, дифузија, епитаксија, оксидација, јонска имплантација, напарувања – метализација, пакување). Систем на чип технологија. 3D-интеграција на чипови; Елементи на интегрираните кола – слојна отпорност, Ирвинови криви, pn-спој, Лоренс-Ворнерови криви. Биполарна технологија. MOS и CMOS фабрикација. Правила за топологија на CMOS интегрираните кола – Ламбда правила. Дијаграм на стапчиња (Stick diagram). Дизајн на топологија на едноставни CMOS логички кола со CAD алатка за топологија на интегрирани кола. MEMS сензори и микросистеми, интеграција на процесите, специфични MEMS структури и примери. Симулација на MEMS сензори.
12.Методи на учење Предавања, аудиториски вежби, лабораториски вежби, домашни задачи, семинарски задачи/проекти
13. Вкупен расположив фонд на часови 3 + 1 + 1 + 0
14. Распределба на расположивото време 180
15. Форми на наставните активности 15.1. Предавања – теоретска настава 45
15.2. Вежби, семинари, тимска работа 30
16. Други форми на активност 16.1. Проектни задачи 15
16.2. Самостојни задачи 15
16.3. Домашно учење 75
17. Начини на оценување 17.1. Тестови 10
17.2. Семинарска работа/проект 10
17.3. Активност и учење 20
17.4. Завршен испит 60
18. Критериуми за оценување до 50 бодови 5 (пет) (F)
од 51до 60 бодови 6 (шест) (E)
од 61до 70 бодови 7 (седум) (D)
од 71до 80 бодови 8 (осум) (C)
од 81до 90 бодови 9 (девет) (B)
од 91до 100 бодови 10 (десет) (A)
19. Услов за потпис и полагање на завршен испит Следење на предавањата и аудиториските вежби и успешно изведени лабораториски вежби.
20. Начин на полагање на испитот Во текот на семестарот се предвидени два парцијални писмени испити (на половина и на крај од семестарот, во времетраење од 120 минути) и тест од лабораториски вежби (по завршување на вежбите). Во конечната оценка влегуваат поените од парцијалните испити, поените од домашните задачи и поените од лабораториските вежби.
Во предвидените испитни сесии се полага писмен испит (времетраење 180 минути). Во конечната оценка влегуваат поените од писмениот испит, поените од домашните задачи и поените од лабораториските вежби.
За време на испитот е дозволено користење калкулатор, но, не е дозволено користење книги, скрипти, ракописи или белешки од кој било вид, како и мобилен телефон, таблет или кој било друг електронски уред.
21. Јазик на кој се изведува наставата Македонски и Англиски
22. Метод на следење на квалитетот на наставата Интерна евалуација и анкети
23. Литература
23.1. Задолжителна литература
Бр. Автор Наслов Издавач Година
1 Томислав Џеков Микроелектроника УКИМ 1986
2 Ј.Ќосев Збирка решени примери од микроелектроника УКИМ 1989
3 Stephen D. Senturia Microsystem design Kluwer academic 2001
23.2. Дополнителна литература
Бр. Автор Наслов Издавач Година
1 Richard C. Jaeger Introduction to microelectronic fabrication, 2nd еd Prentice Hall 2001