Предмет: Проектирање микро и нано системи
Код: 3ФЕИТ12007
Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС
Неделен фонд на часови:3+0+0+3
Наставник: Проф. д-р Катерина Ралева
Цели на предметната програма (компетенции): Целта на предметот е студентот да се стекне со знаења за техниките на дизајнирање на микро и нано системите (MEMS/NEMS) и да ги разбира моделите на електронските и механичките делови во еден микроелектромеханички систем. По завршување на предметот, студентот ќе биде оспосебен да анализира и дизајнира MEMS/NEMS електрични кола и системи.
Содржина на предметната програма: Вовед – споредба микросистеми , микро-електромеханички системи и интегрирани електронски системи. Микрофабрикација на MEMS елементи и структури. MEMS сензори (акцелерометар, жироскоп, сензор за притисок) – фабрикација и принцип на работа. Моделирање на MEMS елементи – електронски модел со распределени параметри (lumped modeling with circuit elements). Моделирање на еластичност. Динамички модел со распределени параметри на микро системи. Трансдусери со запазување на енергија (energy-conserving transducers). Моделирање на дисипативни процеси кај микро и нано системите. Електронски кола и системи со MEMS уреди. Системи со повратна врска-стабилност на системот. Шумови кај микросистемите. Техники за проектирање на микро и нано системи. Процес на интегрирање на дизајнот.
Литература:
| Задолжителна литература | ||||
| Бр. | Автор | Наслов | Издавач | Година |
| 1 | Stephen D. Senturia | MICROSYSTEM DESIGN | KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS | 2001 |
| 2 | James J. Allen | Micro Electro Mechanical System Design | Taylor & Francis | 2005 |
| 3 | Milena Djukanovic, Goran Stojanovski | Lecture Notes on Microelectromechanical Systems | DRIIMS Tempus | 2012 |
