Проектирање микро и нано системи

Објавено: февруари 28, 2019

Предмет: Проектирање микро и нано системи

Код: 3ФЕИТ12007

Број на ЕКТС кредити: 6 ЕКТС

Неделен фонд на часови:3+0+0+3

Наставник: Проф. д-р Катерина Ралева

Цели на предметната програма (компетенции): Целта на предметот е студентот да се стекне со знаења за техниките на дизајнирање на микро и нано системите (MEMS/NEMS) и да ги разбира моделите на електронските и механичките делови во еден микроелектромеханички систем. По завршување на предметот, студентот ќе биде оспосебен да анализира и дизајнира MEMS/NEMS електрични кола и системи.

Содржина на предметната програма: Вовед – споредба микросистеми , микро-електромеханички системи и интегрирани електронски системи. Микрофабрикација на MEMS елементи и структури. MEMS сензори (акцелерометар, жироскоп, сензор за притисок) – фабрикација и принцип на работа. Моделирање на MEMS елементи – електронски модел со распределени параметри (lumped modeling with circuit elements). Моделирање на еластичност. Динамички модел со распределени параметри на микро системи. Трансдусери со запазување на енергија (energy-conserving transducers). Моделирање на дисипативни процеси кај микро и нано системите.  Електронски кола и системи со MEMS уреди. Системи со повратна врска-стабилност на системот. Шумови кај микросистемите. Техники за проектирање на микро и нано системи. Процес на интегрирање на дизајнот.

Литература:

Задолжителна литература
Бр. Автор Наслов Издавач Година
1 Stephen D. Senturia MICROSYSTEM DESIGN KLUWER ACADEMIC PUBLISHERS 2001
2 James J. Allen Micro Electro Mechanical System Design Taylor & Francis 2005
3 Milena Djukanovic, Goran Stojanovski Lecture Notes on Microelectromechanical Systems DRIIMS Tempus 2012